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                高端电子工艺装备

                【1】集成ξ电路装备

                产业介绍:电控公ζ 司的集成电路装备以七星电子(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发Ψ展,产品以集成电路设备为主,并结合市场需▓求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器三个人是新出现件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(北方微)先后承担11项←国家重大科技02专项,技术水平快速提升,填ζ补了国内12英寸高端刻∞蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,大部分产』品实现了28nm的产业对其出手化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术︾的研发。技术能力达到同技术代国际主流装备水平。

                 

                12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧∏化炉等设备均已进入了中芯国际和上海华力国内集成电路制造领军企业大生产线,多款产手臂变得不见了品已成为LED、先进封装、MEMS等泛半导〓体领的主流产品,市场开拓工作成效显著,刻蚀机产品成功打入台湾市场。其中12英寸、28nmHardMask PVD设备及12英寸55nm硅刻蚀设备已作为中芯国际∴的Baseline设备,代表了国内设备的最高水柔软平。

                重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉一直肩膀积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。

                 

                 

                【2】锂电装备

                北京电控可提供全套的锂离子电池极片生产所需的搅拌、涂布、辊压、分切设备,技术处于国内领先水平,接近国际同期水平。

                 

                成功研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌设备,已掌握自动上料技一个老职员回答道术、搅拌过程程序化↓控制、搅拌料评价等技术;成功开发出了挤啊——一个警察发出了一声撕心裂肺出式涂布设备,涂布速度10-20m/min(最高◥水平达到30m/min)。成功开发出了液压伺服辊压设备,极片轧制速度达到20-30m/min(最高水他知道自己不能跟随所乾过远平达到60m/min),掌握了极片热轧技术、辊电镀技哼术、AGC液压伺服→控制型等核心技术。

                 

                分切设备】可分切卷材宽度达700mm,生产效率达到50m/min(最高水平达到80m/min),并开发了设备CCD测控系统(国内唯一)降低了产品废品率。于此同时,成功的搭建了马屁啊20000Ah锂离子动力电池中试线,为自产设备提供了工艺验证平台,具备提供整线解决方案的能力。